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這是9月25日拍攝的上海交通大學(xué)無(wú)錫光子芯片研究院。
上海交通大學(xué)無(wú)錫光子芯片研究院位于江蘇省無(wú)錫市蠡園經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)，以高端光子芯片研發(fā)為核心，聚焦芯、光、智、算領(lǐng)域的成果轉(zhuǎn)化及創(chuàng)業(yè)孵化，具備從研發(fā)、小試到中試生產(chǎn)光子芯片的完整閉環(huán)工藝能力。研究院建成投用的光子芯片中試線(xiàn)，支持高性能光子芯片的自主研發(fā)和快速迭代。
這是在上海交通大學(xué)無(wú)錫光子芯片研究院光子芯片中試線(xiàn)接受檢測(cè)的芯片晶圓（9月25日攝）。
9月25日，工程師在上海交通大學(xué)無(wú)錫光子芯片研究院光子芯片中試線(xiàn)取片。
9月25日，工程師在上海交通大學(xué)無(wú)錫光子芯片研究院光子芯片中試線(xiàn)刻蝕間工作。
9月25日，工程師在上海交通大學(xué)無(wú)錫光子芯片研究院光子芯片中試線(xiàn)濕法間工作。
這是9月25日在上海交通大學(xué)無(wú)錫光子芯片研究院光子芯片中試線(xiàn)上拍攝的濕法工藝。
這是9月25日拍攝的上海交通大學(xué)無(wú)錫光子芯片研究院光子芯片中試線(xiàn)光刻間內(nèi)的涂膠作業(yè)。
9月25日，工程師在上海交通大學(xué)無(wú)錫光子芯片研究院光子芯片中試線(xiàn)光刻間工作。
9月25日，工程師在上海交通大學(xué)無(wú)錫光子芯片研究院光子芯片中試線(xiàn)光刻間工作。
新華社記者 胡智軒 攝
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